洁净室，也被称为无尘室或清洁室。它是污染控制的基础。没有洁净室，污染敏感部件不能大规模生产。在FED-STD-2中，洁净室被定义为一个具备空气过滤—分配—优化—构造材料和装置的房间，具有特定的常规操作程序来控制空气中悬浮尘粒的浓度，以达到适当的尘粒洁净度水平。洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并为室内温度、洁净度、室内压力、空气流速和气流分布、噪声振动和照度、静电控制等控制在特定范围内而专门设计的房间。

工业洁净室与生物洁净室区别见下表：

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